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寬頻自適應大功率機械加工超聲波電源研制

添加時間:2021/08/19 來源:未知 作者:樂楓
目前發現超聲振動輔助加工技術可以實現對硬脆材料高精度高效的加工,并且在超聲振動輔助加工技術中超聲波電源發揮著非常重要的作用,直接影響材料加工的質量,因此本文特研制出一套寬頻自適應大功率機械加工超聲波電源。
以下為本篇論文正文:

摘 要

  隨著科技快速發展,越來越多的先進設備和系統正在被研發,前沿的先進設備在性能等方面要求很高,隨之對所需要材料的要求也提高,現在很多的新型的硬脆材料正被廣泛的應用在國民生活的各個領域,通過研究和現場加工發現很多硬脆材料雖然具有很多獨特優異的性能,但是加工難度非常大,傳統的加工方法在加工質量和加工速度上已經不能滿足人們的要求,目前發現超聲振動輔助加工技術可以實現對硬脆材料高精度高效的加工,并且在超聲振動輔助加工技術中超聲波電源發揮著非常重要的作用,直接影響材料加工的質量,因此本文特研制出一套寬頻自適應大功率機械加工超聲波電源。

  本文首先介紹了寬頻自適應大功率機械加工超聲波電源的意義、背景及國內外研究現狀;并與市場上只能匹配固定換能器的傳統超聲波電源進行比較,提出可以對諧振頻率為 15kHz-40kHz 的任意換能器進行匹配;對整流調壓電路、高頻逆變電路、阻抗匹配電路和電壓電流采樣電路的硬件參數進行計算分析和器件選;根據典型機械加工換能器的阻抗和諧振頻率,確定本文的寬頻自適應大功率機械加工超聲波電源裝置的輸出頻率為 15kHz-40kHz,最大輸出功率為 2kW.

  本文利用 Matlab/Simulink 軟件對裝置整體電路拓撲和控制系統進行仿真驗證,仿真結果驗證了本文設計的寬頻自適應大功率機械加工超聲波電源系統的正確性和可行性,仿真研究發現恒功率模式下,設定功率后,通過 PI 調節,電源很快達到設定功率,并且穩定輸出;設計了粗精結合變步長的頻率跟蹤算法,實現了諧振頻率跟蹤速度更快精度更高,實時保證換能器處于諧振狀態。

  本套裝置的硬件開發以單相 BUCK 調壓電路和全橋逆變拓撲作為主電路的核心,中央主控單元通過控制 BUCK 調壓電路驅動信號的占空比,進行輸出功率調節;通過控制逆變電路驅動信號的頻率,來調整高頻逆變電路輸出的電壓頻率,使換能器工作在諧振的狀態。

  最后基于上述硬件平臺,本文開發了對超聲波電源工作和換能器諧振實時監控的應用軟件平臺,可實現基本參數設置、故障判斷、實時顯示輸出功率和頻率、歷史數據存儲等功能。并在實驗室和工廠完成系統性能測試,試驗結果滿足現場機械加工要求,各項功能均達到了本文的設計目標。

  關鍵詞 超聲波電源;頻率自動跟蹤;功率調節;機械加工

Abstract

  With the rapid development of science and technology, more and more advanced equipment and systems are being developed. The cutting-edge advanced equipment has high requirements in terms of performance, and the requirements for required materials are also improved. Now many new hard and brittle materials are widely used in various fields of national life, Through research and field processing, it is found that although many hard and brittle materials have many unique and excellent properties, it is very difficult to process. The traditional processing methods can not meet people's requirements in processing quality and processing speed. At present, it is found that ultrasonic vibration assisted processing technology can realize high-precision and efficient processing of hard and brittle materials, And in ultrasonic vibration assisted machining technology, ultrasonic power supply plays a very important role, which directly affects the quality of material processing. Therefore, a set of broadband adaptive high-power ultrasonic power supply for machining is developed in this paper.

  Firstly, this paper introduces the significance, background and research status of broadband adaptive high-power machining ultrasonic power supply at home and abroad; Compared with the traditional ultrasonic power supply which can only match fixed transducers in the market, it is proposed that any transducer with resonant frequency of 15khz-40khz can be matched; The hardware parameters of rectifier voltage regulating circuit, high frequency inverter circuit, impedance matching circuit and voltage and current sampling circuit are calculated, analyzed and selected; According to the impedance and resonant frequency of typical machining transducers, the output frequency of the broadband adaptive high-power machining ultrasonic power supply device in this paper is determined to be 15khz-40khz and the maximum output power is 2kW

  In this paper, the overall circuit topology and control system of the device are simulated and verified by Matlab / Simulink software. The simulation results verify the correctness and feasibility of the broadband adaptive high-power machining ultrasonic power supply system designed in this paper. The simulation study shows that in the constant power mode, after setting the power, the power supply quickly reaches the set power through PI adjustment, and the output is stable; A frequency tracking algorithm combining coarse precision and variable step size is designed to realize faster resonant frequency tracking speed, higher accuracy and ensure that the transducer is in resonant state in real time.

  The hardware development of the device takes the single-phase buck voltage regulating circuit and full bridge inverter topology as the core of the main circuit. The central main control unit adjusts the output power by controlling the duty cycle of the driving signal of the buck voltage regulating circuit; By controlling the frequency of the driving signal of the inverter circuit, the output voltage frequency of the high-frequency inverter circuit is adjusted to make the transducer work in a resonant state.

  Finally, based on the above hardware platform, an application software platform for real-time monitoring of ultrasonic power supply and transducer resonance is developed, which can realize the functions of basic parameter setting, fault judgment, real-time display of output power and frequency, historical data storage and so on. The system performance test is completed in the laboratory and factory. The test results meet the on-site machining requirements, and all functions achieve the design goal of this paper.

  Keywords ultrasonic power supply; Automatic frequency tracking; Power regulation; machining

目 錄

  第1章 緒 論

  1.1 課題研究背景及目的意義

  隨著高新技術快速發展,由于很多硬脆材料具備很多優異的性能,因此被廣泛應用于國民生產生活的各個領域,通過研究和實際使用中發現 SiC 顆粒增強鋁基復合材料(以下簡稱 SiCp/Al)比普通的復合材料強度更高、耐受的溫度更高而且 SiCp/Al 比普通的復合材料的熱膨脹系數小很多,因此近年來在精密儀器、衛星、汽車、航空航天等領域被廣泛的應用,SiCp/Al 復合材料的加工難度非常大是因為 SiCp/Al 復合材料當中含有大量的 SiC 顆粒,并且成為了大家一起公認的典型難加工材料,但是由于 SiCp/Al 具有其他復合材料沒有的優異性能,國內外都非常迫切的想要大量的應用 SiCp/Al 復合材料,因此SiCp/Al 的加工技術近年來一直都被受國內外研究學者的關注[1-2].

  近年來,國內外學者針對 SiCp/Al 復合材料的加工從各個方面進行突破,尋找各種刀具材料,并進行大量的現場加工實驗,從現場加工實驗的試樣加工效果來看都不好,而且隨著 SiCp/Al 復合材料中的 SiC 顆粒含量的增加,SiCp/Al 復合材料的加工難度成指數增加,通過大量現場加工實驗數據對比來看聚晶金剛石刀具(以下簡稱 PCD 刀具)具有很好的加工性能,但是從實際對 SiCp/Al 復合材料加工效果來看,PCD 刀具磨損嚴重,甚至報廢,已經嚴重影響加工速度和加工質量,當 SiC 顆粒的含量繼續增加,超過 50%以上時即高體積分數(簡稱高體分)SiCp/Al 復合材料,高體分 SiCp/Al 復合材料的難加工程度更加明顯,一個傳統的鉆削都需要頻繁換刀才能完成,所以高體分 SiCp/Al 復合材料的加工工藝已經嚴重阻礙了 SiCp/Al 復合材料被廣泛的應用,針對這一現象超聲波振動輔助加工技術應運而生,并且在實際使用中效果非常好,刀具磨損情況嚴重減小,工件表面加工效果非常好,因此越來越受到大家的認可,并被廣泛的投入使用[3-4].

  針對高體分 SiCp/Al 復合材料和其他硬脆材料加工難的問題,我們采用了超聲振動輔助加工技術,超聲振動輔助加工技術的工作原理是將超聲波技術融合進普通的機械加工技術中[5],我們已經通過超聲振動輔助加工技術和傳統機械加工方法在工廠進行現場加工對比,通過對比兩種方法對工件的加工效果來看,發現超聲振動輔助加工技術加工的工件質量更好、加工的精度更高,超聲振動輔助加工裝置中的核心部分是機械加工超聲波電源,而市面上的超聲電源頻率跟蹤范圍低,用于實驗研究的換能器-變幅桿-工具頭結構需要多次調試才能匹配上超聲電源,導致實驗周期增長、成本提高等問題,嚴重時可能會使得變幅桿-工具頭部分報廢。

  基于以上原因本文不采取調試換能器-變幅桿-工具頭來匹配超聲波電源的傳統做法,而是從超聲波電源匹配換能器-變幅桿-工具頭的角度入手,通過設計一個自動匹配換能器-變幅桿-工具頭的寬頻超聲波電源系統來實現縮減實驗周期、降低實驗成本、精確跟蹤負載諧振頻率的目的,如圖 1-1 所示我們本文超聲振動輔助加工系統由超聲波電源、功率連接關節和變幅桿-工具頭構成,如圖 1-1 所示超聲振動輔助加工系統中的連接關節可以是旋轉關節也可以是非旋轉關節。

  1.2 國內外機械加工超聲波電源研究現狀

  正因為機械加工超聲波電源是超聲振動輔助加工系統的核心部分,因此機械加工超聲波電源的發展也在制約著超聲振動輔助加工技術的發展,目前超聲波輔助加工系統想要突破超聲波電源跟蹤頻率窄,頻率跟蹤精度低的約束,現在急需寬頻率跟蹤范圍、頻率跟蹤快速響應得的大功率超聲電源。

  1.2.1 國外機械加工超聲波電源研究現狀

  國外對應用于機械加工的寬頻自適應大功率超聲波電源研究比較少,對其他應用的超聲波電源控制研究有很多。1960 年美國西屋電氣公司的 Yin-MinWei 為了滿足工業中對超聲波發生器高功率、高頻率和高效率的要求,他通過利用晶體管代替真空管制作了新型超聲波發生器,為之后設計大功率超聲波電源奠定了基礎[6].1962 年美國人 Frank Massa 詳細介紹了超聲波在工業中的成功應用,主要應用包括低、中、高功率。中低等功率超聲波應用包括檢測、遙控、探傷、超聲波治療和焊接等類型,高功率超聲波應用包括金屬、冶金和其他化學制品的分散以及物理應用。中低功率應用成功獲得商業驗收,但是大功率應用進展很慢[7].1967 年美國通用電氣公司的 Neville Mapham 通過使用單個可控硅,從而使半導體和相關電路的成本最低化來降低超聲波電源的成本。

  電路具有良好的負載調節功能,控制基本電路的電壓輸出變化 5%,該電路還可以承受無功負載,輸出頻率范圍是 400Hz-30kHz,輸出最大功率為 1kW[8].

  1975 年,美國 Branson 超聲波公司的 A.Shoh 評估了大功率超聲波在工業中的應用,據統計用于工業用途的功率超聲設備每年總計 1 億美元,在接下來的 25年里將會穩步發展[9].1996 年日本人 Yoko Mizutani 針對換能器具有復雜的阻抗特性,他提出新型的鎖相環(PLL)方法和自動頻率控制算法(AFC)實現逆變器輸出頻率與換能器諧振頻率相適應,他通過研究了換能器的阻抗特性,發現當換能器工作在諧振頻率時,換能器具有最小的阻抗并且此時流過換能器的電流最大,根據換能器這一特點他設計的新型 PLL 電路可以大大的提高超聲波電源的輸出功率,由此他設計處了一個高頻低功率的超聲波電源,頻率為1MHz,功率為 60W[10].2007 年波蘭人 Pawe? Fabijański 通過對換能器的等效阻抗進行研究分析,確定其等效電路由靜態電容和動態電阻、電感和電容并聯連接組成,通過采用模糊控制使換能器工作在最佳諧振頻率,大大的提高換能器工作效率[11].2008 年,泰國的 Chankit Buasri 用微控制器產生脈沖寬度調制(PWM)、相移 PWM 控制(PS-PWM)和脈沖密度調制(PDM)作為超聲波清洗機的控制信號,并對這三種控制模式的效果進行比較,采用全橋逆變器,諧振頻率為 30kHz 來確定超聲波清洗機的效率。測試結果表明 PDM 切換策略是清洗粗糙設備的最佳策略,PWM 和 PS-PWM 測略是清潔扁平設備的最佳策略[12].2010 年,土耳其人 Ali Tangel 設計了以 FPGA 為核心的多輸出超聲波發生器,可以實現四個獨立的脈沖發生器和數字顯示單元,輸出頻率為48kHz,頻率分辨率為 5Hz,這項工作被認為是首次嘗試利用 FPGA 技術的并行硬件設計[13].2013 年,馬來西亞人 Javad abbaszadeh 設計了可以進行頻率自動跟蹤,跟蹤步長為 100Hz,并對系統頻率實時監控和調整的超聲波電源[14].

  2017 年日本人 Jun Imaoka 設計了一個超聲主軸的旋轉變壓器串并聯組合諧振電路,超聲主軸是主要的加工設備之一,用高頻正弦電壓驅動超聲主軸驅動的超聲換能器,利用旋轉變壓器代替電刷和滑環的電壓傳遞方法,將正弦電壓提供給連接在旋轉軸上的超聲換能器,但是旋轉變壓器的耦合系數不夠高無法傳遞超聲換能器所需要的驅動電壓,因此,需要利用 LC 抵消技術對旋轉變壓器中的漏感進行等效抵消[15].2018 年俄羅斯人 Vladimir N. Khmelev 研究發現高強度的機械振動可以改變材料的結構和性能,因此設計了一個低壓電源超聲發生器用于工業產生機械振動來提高各種產品的產品質量[16].2020 年,印度人P.aanchal satyan 將太陽能與超聲波發生器相結合,設計了太陽能超聲波清洗機[17].

  1.2.2 國內機械加工超聲波電源研究現狀

  1980 年,我國開始利用模擬電路搭建功率超聲設備,并在工業中開始投入使用,如超聲清洗、超聲焊接和超聲加工[18-23].1993 年太原大學董麗萍設計了一款新型功率超聲波發生器,通過利用功率 MOSFET 代替電子管來提高電能轉換成械能的效率[24].2000 年,華北電力大學劉麗華以 mcs-80c196 單片機為信號控制芯片,設計了一種智能化大功率超聲波發生器,輸出頻率為 20kHz-38kHz,輸出功率為 300W,可以實現頻率自動跟蹤[25].2008 年,陜西師范大學鮮曉軍通過對復頻功率換能器的設計,實現一個換能器可以有多個機械諧振頻率,很大程度上推廣了換能器的使用,方便了用戶,不用再買很多的換能器,降低了加工和實驗的成本[26].2010 年,江南大學屈百達教授通過采用 PI控制器和鎖相環(PLL)相結合的頻率跟蹤方法,解決了電源啟動時超聲波電源容易失諧的問題,而且還實現了寬范圍頻率跟蹤,同時還大大提高了超聲波電源的性能和系統得功率因數[27].2011 年,蘇州大學李祖勝針對換能器的阻抗特性提出了一種新型的動態監測換能器諧振平頻率和換能器參數的方法,這種動態檢測方法有助于換能器的諧振頻率跟蹤。南京航空航天大學葛紅娟教授提出了一種全新的全橋移相控制方法,大大的提高了超聲電源的效率。中南大學的黃凱分析了壓電陶瓷換能器的阻抗特性和諧振頻率特性,以串聯支路的諧振頻率作為超聲換能器的工作的最佳諧振頻率,并采用 BP 神經網絡提前計算好匹配網絡的電感值,為了實現實時諧振頻率跟蹤和動態阻抗匹配,通過搜索電流最大值確定換能器的諧振頻率。武漢理工大學夏自祥根據功率超聲在工業中的重要作用設計了一個智能化大功率發生器,提高了系統頻率跟蹤精度,為了防止工作環境對系統工作的穩定性及可靠性產生干擾,夏自祥從硬件和軟件都采取了抗干擾措施,雙重保護系統的可靠運行[28-31].2014 年江南大學劉輝洪針對傳統超聲波電源只能工作在一個固定諧振頻率,在實際應用中嚴重受限,為此,通過模糊控制對其諧振頻率進行粗略調整,采用 DDS 實現諧振頻率精準跟蹤設計了一種輸出頻率范圍為 15kHz-38kHz 的寬帶低功率超聲電源[32].

  2015 年華南理工大學羅杰和杭州電子科技大學陳洪歡針對工業中對超聲波電源功率要求越來越高的問題,設計了一款大功率超聲波電源,并提出可以根據負載的變化進行更改諧振頻率跟蹤的方法和頻率跟蹤的速度。北京交通大學的鐘 龍針發現傳統的超聲電源由于采用的是靜態阻抗匹配網絡,因此導致超聲電源在諧振頻率漂移時不能及時進行阻抗匹配帶來效率降低、換能器停震等問題,因此提出了動靜結合阻抗匹配策略[33-38].2016 年,浙江大學干洋紅研究發現,硬脆材料比普通材料的強度和硬度都高而且耐磨性好,但是硬脆材料的加工比較困難,傳統的機械加工工藝已經滿足不了,通過研究發現引入超聲的技術可以實現對很多硬脆材料的精密加工,因此設計了一套超聲機械加工系統。李長有提出數字鎖相頻率跟蹤技術與尋找電流最大值頻率跟蹤方法相結合的復合頻率跟蹤方法,可以實現動態搜索換能器的諧振狀態,但是這種復合頻率跟蹤方法跟蹤精度不夠高[39-41].2017 年,江蘇科技大學蘇文虎針設計了一款以 FPGA為控制核心的寬頻超聲波電源,輸出頻率可達 20kHz-40kHz,解決了寬頻域內鎖相和頻率跟蹤的問題,可以任意的匹配換能器,突破專機專用的技術壁壘。

  杭州電子科技大學的張青發現,超聲波電源的功率調節和輸出電壓的穩定性嚴重影響了超聲波電源的焊接質量。因此,為了提高焊接質量,提出了超聲波電源的恒振幅控制策略[42-44].2019 年中國民航大學張朋朋在超聲加工研究中發現切削力的快速變化和電能傳輸效率低,會對加工的質量產生影響,原因是切削力的變化和電能傳輸效率會使振幅不穩定,甚至振幅還會衰減,設計一個能根據振幅變化調節輸出功率的超聲波電源[45-47].2020 年湖北工業大學楊景崳針發現目前的用于功率焊接的超聲波電源存很多問題,如在負載突變時失諧并且輸出功率不穩定和頻率跟蹤速度等問題,采用 LCL 型匹配電路和積分分離 PI 控 制并結合數字頻率合成技術 DDS 的頻率跟蹤策略,設計了一個 2kW 超聲波電源,頻率跟蹤步長為 1Hz 提高了超聲波驅動電源頻率跟蹤精度,并解決了超聲波電源頻率跟蹤響應速度慢和易失諧的問題[48].

  綜合以上國內外學者的研究成果,雖已經取得了巨大突破而且有的超聲波電源已經在某些領域投入使用,但是市場上傳統的超聲波電源仍存在頻率跟蹤動態響應慢、頻率跟蹤范圍窄、參數不易調整、專機專用、輸出功率不穩定和電源長時間運行不穩定等缺陷,為了解決上述問題,研究能夠自動進行精準快速頻率跟蹤以及功率自動調整的超聲波電源是裝置是十分必要的。

  1.3 論文的主要研究內容

  本文研究的主要內容是研制一款用于對硬脆材料進行機械加工的寬頻自適應大功率超聲波電源裝置,能夠對諧振頻率為 15kHz-40kHz 之間的任意換能器進行自動匹配、實時進行頻率跟蹤以及功率穩定輸出的超聲波電源,本文的主要研究內容如下:

 。1)簡述寬頻自適應大功率機械加工超聲波電源研制的重要意義,并介紹超聲振動輔助加工技術,本文并著重介紹了一下國內外對超聲波電源研究的進展和突破。

 。2)結合換能器的工作原理和對換能器的阻抗特性分析,可將其等效為RLC 串聯電路,利用 Matlab/Simulink 軟件對超聲波電源系統整體電路拓撲的可行性進行仿真,在仿真中模擬了換能器諧振頻率漂移時的諧振頻率跟蹤和功率調節,模擬了諧振頻率偏移時電壓、電流的變化趨勢,并對裝置的性能指標進行了合理設計,對電力電子器件的參數進行了計算和選擇。

 。3)建立上位機超聲波電源工作和換能器諧振實時監控應用軟件平臺,并對監控平臺子模塊進行合理設計,確保實現底層硬件裝置單元與上位機實現基于 MODBUS 協議的雙向通信控制,同時應在監控軟件平臺中加入參數配置及故障顯示,確保用戶操作便捷。

 。4)寬頻自適應大功率機械加工超聲波電源裝置需在實驗室進行系統性能測試,在工廠對硬脆材料現場進行機械加工,驗證超聲波電源裝置在工廠現 場加工時的實際運行的可行性、可靠性和穩定性,并對試驗結果進行分析。

  第 2 章 機械加工超聲波電源主電路設計

  2.1 機械加工超聲波電源總體設計方案

  2.2 整流調壓模塊

  2.2.1 整流電路參數設計

  2.2.2 濾波電路參數設計

  2.2.3 BUCK 降壓電路參數設計

  2.3 高頻逆變模塊

  2.4 阻抗匹配模塊

  2.4.1 換能器阻抗特性分析

  2.4.2 靜態匹配技術研究

  2.4.3 動態匹配技術研究

  2.5 本章小結

  第 3 章 超聲波電源硬件電路設計

  3.1 控制系統總體方案設計

  3.2 采樣硬件電路設計

  3.2.1 電壓電流檢測電路設計

  3.2.2 電壓電流調理電路仿真驗證

  3.2.3 電壓電流調理硬件電路設計

  3.3 信號發生電路硬件設計

  3.3.1 DDS 信號發生電路設計

  3.3.2 MOSFET 驅動電路

  3.4 保護電路設計

  3.5 本章小結

  第 4 章 超聲波電源軟件設計與系統性能測試

  4.1 控制系統軟件算法設計

  4.1.1 功率控制算法設計

  4.1.2 頻率跟蹤算法設計

  4.1.3 DDS 軟件算法設計

  4.1.4 人機交互模塊軟件算法設計

  4.2 超聲波電源控制系統仿真驗證

  4.3 系統性能測試

  4.3.1 實驗室系統性能測試

  4.3.2 系統現場測試及運行

  4.4 本章小結

結 論

  本文在分析了機械加工超聲波電源國內外研究現狀的基礎之上,提出了寬頻自適應大功率機械加工超聲波電源裝置的研制,為了實現對硬脆材料高效高質的加工,本文對超聲振動輔助加工技術的核心部分機械加工超聲波電源中的核心技術和控制策略進行設計,并通過在 Matlab/Simulink 中建立超聲波電源系統模型進行仿真驗證,在實驗室搭建系統功能測試平臺,在調試完成的基礎上搭建樣機,系統樣機并在現場進行功能測試,通過理論分析、實驗研究和現場測試得出以下結論:

  1. 通過分析了換能器的等效電路模型和換能器的阻抗特性,本文發現換能器具有靜態支路參數穩定和動態支路參數變化劇烈的特性,因此本文提出動靜結合的阻抗匹配技術,通過對比實驗證明,所提的阻抗匹配技術有效的解決了換能器工作過程中失諧的問題。

  2.針對目前市場上超聲波電源頻率跟蹤范圍窄、專機專用的問題,本文提出了粗精結合的頻率跟蹤算法并設計了十二階有源帶通濾波器,通過實驗表明實現了超聲波電源可以對諧振頻率為 15kHz-40kHz 的任意換能器自動匹配功能和智能頻率跟蹤功能。 3. 通過在實驗室和現場對本文研制的樣機測試可知,發現以最大輸出功率2kW 輸出時,可以保持良好的運行狀態,其可靠性高,本套超聲波電源系統內部具有完善的過壓和過流保護功能,而且抗干擾能力強,且當設備長時間工作,換能器一直可以工作在諧振狀態。

  4.本文建立了良好的上位機操作界面。用戶可以更加直觀的觀察超聲波電源運行情況和換能器工作情況,在上位機操作界面可以簡單方便的修改參數;并且上位機操作界面還具有報警功能。

  本文研制的超聲波電源系統在實驗室和工廠性能測試中各項功能均達到設計要求,在測試中發現本套超聲波電源還可以在超聲波電源的體積和功率損耗方面進行優化。

致 謝

  時光飛逝,兩年半的研究生學習生活即將結束,第一次進實驗室的場景還歷歷在目,而現在卻不得不和我親愛的實驗室,敬愛的老師,帥氣的師兄弟們說再見了,我的內心百感交集,想要感謝的人很多,想要說的話也有很多。

  首先,我要衷心的感謝我的導師劉驥教授。劉驥老師淵博的專業知識、嚴謹的學術態度和良好的科研習慣都深深的激勵著我,每次與老師討論問題時,劉老師的悉心指導讓我受益匪淺?蒲蟹矫,劉老師給我們提供了廣闊的實驗平臺與實踐機會,使我從開始認識電子器件到獨立完成科研項目的一個快速成長。在生活中,劉老師平易近人給予了我們無微不至的關懷和幫助,為我們創造了良好的實驗室氛圍。

  在課題的研究和實踐中,實驗室的師兄弟們都給予了我很大的幫助,我要感謝張春博和王守明師兄在搭建實驗平臺和后期調試時,傳授給我很多實踐經驗,讓我少走很多的彎路,還有感謝張明澤博士師兄在我撰寫論文期間給我提出很多指導性修改建議,幫助我順利完成論文的撰寫,以及師弟師妹們也給予了我很大的幫助,感謝你們有求必應,放下手中的活幫我做實驗,感謝我的好朋友付宇和我一起發現問題、解決問題,懷念我們一起奮戰的時光。

  感謝我的父母對我慢慢求學路的支持,你們的關心和支持是我拼搏的動力源泉,我將繼續努力不辜負你們的期望。

  最后,感謝能夠在百忙之中對本人碩士畢業論文進行評審的各位專家和評審老師,在這里致以最誠摯的感謝!

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